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十一五国家02科技重大专项 2020-03-10     总浏览:3949

“300mm极大规模集成电路用Al、Ti、Ta 靶材制造技术研究与开发”项目,列入十一五国家科技部极大规模集成电路配套设备与工艺重大专项(02重大专项)。

 

 

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