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十三五国家02科技重大专项 “20-14nm先导产品工艺开发”项目 2021-02-27     总浏览:888

十三五国家02科技重大专项

“20-14nm先导产品工艺开发”项目,列入国家科技部极大规模集成电路配套设备与工艺重大专项(02重大专项)。


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